[发明专利]一种镀膜装置有效
| 申请号： | 201410037789.8 | 申请日： | 2014-01-26 |
| 公开（公告）号： | CN103774108A | 公开（公告）日： | 2014-05-07 |
| 发明（设计）人： | 刘晓伟;郭会斌;刘耀;李梁梁;王守坤;郭总杰 | 申请（专利权）人： | 北京京东方显示技术有限公司;京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/54 |
| 代理公司： | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人： | 黄志华 |
| 地址： | 100176 北京市大*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种镀膜装置，用以在镀膜生产过程中，可以准确的检测到靶材被击穿的临界点处的异常放电，进而避免由于靶材击穿导致靶材背板的损伤。所述镀膜装置包括靶材、靶材背板以及用于连接靶材和靶材背板的连接层，其中，所述镀膜装置还包括位于所述靶材和所述连接层之间的放电层。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 镀膜 装置 | ||
【主权项】：
一种镀膜装置，包括靶材、靶材背板以及用于连接靶材和靶材背板的连接层，其特征在于，所述镀膜装置还包括位于所述靶材和所述连接层之间的放电层。
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