[发明专利]去除PECVD装置的电荷的系统及其控制方法

摘要

本发明提出一种去除PECVD装置的电荷的系统，包括：PECVD腔室，具有光源出入口；光源，用于照射PECVD腔室的内壁；驱动装置，驱动装置与光源相连，用于驱动光源从光源出入口进出PECVD腔室；挡板，位于PECVD腔室的内壁的一侧，用于开闭光源出入口；控制器，分别与光源，驱动装置和挡板相连，用于在通过驱动装置控制光源进入PECVD腔室时，控制挡板打开光源出入口并控制光源照射PECVD腔室的内壁，以及在光源移出PECVD腔室时、控制挡板关闭光源出入口。本发明的系统，可有效地去除PECVD腔室的内壁积累的电荷，结构简单、可靠，提高了整个工艺过程的稳定性。本发明还提出了一种去除PECVD装置的电荷的系统的控制方法。

主权项

一种去除PECVD装置的电荷的系统，其特征在于，包括：PECVD腔室，所述PECVD腔室具有光源出入口；光源，用于照射所述PECVD腔室的内壁；驱动装置，所述驱动装置与所述光源相连，用于驱动所述光源从所述光源出入口进出所述PECVD腔室；挡板，所述挡板位于所述PECVD腔室的内壁的一侧，用于开闭所述光源出入口；控制器，所述控制器分别与所述光源，所述驱动装置和所述挡板相连，用于在通过所述驱动装置控制所述光源进入所述PECVD腔室时，控制所述挡板打开所述光源出入口并控制所述光源照射所述PECVD腔室的内壁，以及在所述光源移出所述PECVD腔室时、控制所述挡板关闭所述光源出入口。