[发明专利]一种校准光学表面轮廓仪有效空间分辨率的方法

摘要

本发明涉及一种校准光学表面轮廓仪实际有效空间分辨率的方法。分形表面的功率谱密度曲线在对数坐标下是斜率为-n的直线。利用这一规律，采用原子力显微镜对符合分形表面的样品在不同范围内(10μm×10μm、5μm×5μm、2μm×2μm和1μm×1μm)进行测试，并将得到的功率谱密度(PSD)曲线的拟合直线作为标准对光学表面轮廓仪进行校准，实现确定表面轮廓仪实际有效空间分辨率的目的。本发明原理简单、操作便捷，在检测超光滑样品的同时就可以完成校准工作，显著降低了光学表面轮廓仪校准的难度和成本，确定了光学表面轮廓仪实际有效空间分辨率，定量的给出了实际空间分辨率范围内的表面粗糙度。

主权项

一种校准光学表面轮廓仪实际有效空间分辨率的方法，其特征在于：定义选择的校准样品表面为分形表面，使用校准设备(AFM)原子力显微镜在不同测量范围对分形表面测试结果对数坐标下的功率谱密度(PSD)曲线进行线性拟合，该拟合直线作为校准光学表面轮廓仪的定标直线。