[发明专利]固体摄像装置的制造方法以及固体摄像装置

摘要

本发明的一个实施方式的目的在于，提供一种能够降低暗电流的固体摄像装置的制造方法以及固体摄像装置。根据本发明的一个实施方式，提供一种固体摄像装置的制造方法。在固体摄像装置的制造方法中，通过在第一导电型的半导体层上矩阵状地二维排列第二导电型的半导体区域，来形成多个光电转换元件。通过以划分半导体层的方式形成俯视格子状的槽，来将光电转换元件整形为俯视矩形形状。将被整形为俯视矩形形状的光电转换元件整形为角的数量比矩形多的俯视凸多边形形状。在由绝缘膜覆盖了槽的内周面之后，在被绝缘膜覆盖的槽中设置遮光部件来形成元件分离区域。

主权项

一种固体摄像装置的制造方法，包括以下步骤：在第一导电型的半导体层上矩阵状地二维排列第二导电型的半导体区域，来形成多个光电转换元件，通过以划分所述半导体层的方式形成俯视格子状的槽，来将所述光电转换元件整形为俯视矩形形状，将被整形为俯视矩形形状的所述光电转换元件整形为角的数量比矩形多的俯视凸多边形形状，在被绝缘膜覆盖了所述槽的内周面之后，在被该绝缘膜覆盖的槽中设置遮光部件，来形成元件分离区域。