[发明专利]负型感光性硅氧烷组合物

摘要

本发明提供一种负型感光性硅氧烷组合物，其具有高分辨率、高耐热性、高透明性，不需提高交联剂或硅氧烷化合物的分子量而抑制容易在热固化中发生的热塌陷，其具有高灵敏度和高残膜率的特性。一种负型感光性聚硅氧烷组合物，其特征在于，其包含：(I)聚硅氧烷、(II)通过照射放射线而释放出酸的芳香族酰亚胺化合物、以及(III)溶剂。

主权项

1.一种负型感光性硅氧烷组合物，其特征在于，包含：/n聚硅氧烷；/n通过照射放射线而释放出酸的芳香族酰亚胺化合物；以及/n溶剂，/n其中，所述芳香族酰亚胺化合物由下述式(A0)表示，/n /n式中，R¹¹是碳原子数1～7的脂肪族基团、碳原子数6～18的芳香族基团、或者它们的一部分或全部氢原子被卤素原子取代而得到的基团，/nR¹²分别独立地为卤素原子、碳原子数1～10的脂肪族基团、碳原子数6～18的芳香族基团，并且所述脂肪族基团以及芳香族基团可以被取代也可以不被取代，另外也可含有杂原子，/n其中，相对于100重量份的所述聚硅氧烷，所述芳香族酰亚胺化合物的添加量为0.001～10重量份。/n