[发明专利]一种通用型针座及其使用方法有效
申请号: | 201410059942.7 | 申请日: | 2014-02-21 |
公开(公告)号: | CN103869111A | 公开(公告)日: | 2014-06-18 |
发明(设计)人: | 邓娇娇;尹彬锋;沈蕾 | 申请(专利权)人: | 上海华力微电子有限公司 |
主分类号: | G01R1/067 | 分类号: | G01R1/067 |
代理公司: | 上海申新律师事务所 31272 | 代理人: | 吴俊 |
地址: | 201210 上海市浦*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明提供一种通用型针座及其使用方法,包括探针、电阻、选择开关、源量测单元;所述探针、所述选择开关和所述源量测单元之间串联连接形成回路;所述选择开关控制所述电阻接入所述回路或将所述电阻短路。所述探针对待测样品实施介质击穿测试时,通过所述选择开关将所述电阻接入所述回路中;所述探针对待测样品实施常规测试时,通过所述选择开关将所述电阻短路。使用本发明一种通用型针座及其使用方法,通过增加一个具有旋转接入电阻电路或导线电路的双掷选择开关,能够有效地减少介质击穿瞬间的电流,通过选择开关兼容电流会突然变大的介质击穿测试和常规测试。 | ||
搜索关键词: | 一种 通用型 及其 使用方法 | ||
【主权项】:
一种通用性针座,其特征在于,包括探针、电阻、选择开关、源量测单元;所述探针、所述选择开关和所述源量测单元之间串联连接形成回路;所述选择开关控制所述电阻接入所述回路或将所述电阻短路。
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