[发明专利]薄膜晶体管阵列基板及其制造方法

摘要

本发明提供一种薄膜晶体管液晶显示面板及其制造方法。本发明的技术方案是在薄膜晶体管液晶显示面板的平坦化层中划分出移除区，将该移除区内的所有有机光阻材料完全去除，把框胶直接涂布在更易粘牢的保护层上，从而获得更好的框胶粘合效果。这样，本发明提供的薄膜晶体管液晶显示面板的整体结构粘合得更加牢固，相对于现有技术可以有效地提高产品良率，且其制造方法简单易行。

主权项

一种薄膜晶体管阵列基板的制造方法，其特征在于，该方法包括以下步骤：S1，在基板主体(210)上形成薄膜晶体管，使用绝缘材料形成覆盖所述基板主体(210)与所述薄膜晶体管的保护层(220)，使用有机光阻材料在所述保护层(220)表面形成平坦化层(230)；S2，将所述平坦化层(230)划分为显示区(231)与移除区(232)，对所述显示区(231)的选定区域进行完全曝光，对整个所述移除区(232)进行不完全曝光；S3，进行光阻显影，在所述显示区(231)的所述选定区域形成连通孔(250)，同时使所述移除区(232)被部分地移除而在所述保护层(220)上形成厚度比所述平坦化层(230)薄的遮蔽层(232a)；S4，在所述保护层(220)上形成和所述连通孔(250)相通，用于引出所述薄膜晶体管的配线的引线孔(260)；S5，形成所述引线孔(260)后，将所述遮蔽层(232a)移除，使所述保护层(220)部分地暴露出来形成粘合区(220a)，然后在所述粘合区(220a)上涂上框胶；其中，所述步骤S1中，在所述基板主体(210)上形成薄膜晶体管的操作包括以下子步骤：S11，在所述基板主体(210)的表面上形成薄膜晶体管的栅极(211)；S12，形成将所述基板主体(210)与所述栅极(211)一同覆盖的绝缘层(212)；S13，采用半导体材料在所述绝缘层(212)的表面上形成用作所述薄膜晶体管的通道区的半导体层(213)；S14，在所述半导体层(213)上形成所述薄膜晶体管的漏极(214)和源极(215)。