[发明专利]低温泵在审
| 申请号： | 201410070233.9 | 申请日： | 2014-02-27 |
| 公开（公告）号： | CN104033355A | 公开（公告）日： | 2014-09-10 |
| 发明（设计）人： | 高桥走 | 申请（专利权）人： | 住友重机械工业株式会社 |
| 主分类号： | F04B37/08 | 分类号： | F04B37/08 |
| 代理公司： | 广州三环专利代理有限公司 44202 | 代理人： | 温旭;郝传鑫 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种低温泵，其适于氢气等非冷凝性气体的高速排气。低温泵（10）具备：低温板总成（20），具备在两表面上具有吸附区域（48）的多个低温板；放射屏蔽件（30），形成包围低温板总成（20）的气体接收空间（50）；及放射罩（32），配设于吸气口（12）。放射罩（32）具备：主板（52），配置于吸气口（12）的与低温板总成（20）对应的位置；及百叶窗部（54），配置于吸气口（12）的与气体接收空间（50）对应的位置。放射罩（32）也可不具备百叶窗部（54）。 | ||
| 搜索关键词： | 低温泵 | ||
【主权项】：
一种低温泵，其特征在于，具备：低温板总成，具备在两表面上具有吸附区域的多个低温板；放射屏蔽件，形成包围所述低温板总成的气体接收空间；及放射罩，配设于低温泵吸气口，且具备：主板，配置于所述低温泵吸气口的与所述低温板总成对应的位置；及百叶窗部，配置于所述低温泵吸气口的与所述气体接收空间对应的位置。
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