[发明专利]机械卡盘及等离子体加工设备有效
| 申请号： | 201410072321.2 | 申请日： | 2014-02-28 |
| 公开（公告）号： | CN104878363B | 公开（公告）日： | 2017-07-21 |
| 发明（设计）人： | 侯珏 | 申请（专利权）人： | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司11112 | 代理人： | 彭瑞欣,张天舒 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供的机械卡盘及等离子体加工设备，其包括基座和固定组件，该固定组件包括由下而上依次叠置的卡环、绝缘环和隔离环，其中，卡环用于在进行工艺时压住置于基座上的被加工工件的边缘区域，以将其固定在基座上；隔离环在卡环上表面上的投影与卡环上表面重合；绝缘环用于使卡环与隔离环电绝缘，并且绝缘环的内周壁与卡环上表面和隔离环下表面的位于该内周壁内侧的部分形成第一凹槽，绝缘环的外周壁与卡环上表面和隔离环下表面的位于该外周壁外侧的部分形成第二凹槽，用以防止等离子体沉积到绝缘环的表面上。本发明提供的机械卡盘，其可以在不提高射频功率的前提下，提高在被加工工件上表面上形成的负偏压，从而可以提高射频效率。 | ||
| 搜索关键词： | 机械 卡盘 等离子体 加工 设备 | ||
【主权项】：
一种机械卡盘，其包括用于承载被加工工件的基座，其特征在于，所述机械卡盘还包括固定组件，所述固定组件包括由下而上依次叠置的卡环、绝缘环和隔离环，其中所述卡环用于在进行工艺时压住置于所述基座上的被加工工件的边缘区域，以将其固定在所述基座上；所述隔离环在所述卡环上表面上的投影与所述卡环上表面重合；所述绝缘环用于使所述卡环与隔离环电绝缘，并且所述绝缘环的内周壁与所述卡环上表面和隔离环下表面的位于该内周壁内侧的部分形成第一凹槽，所述绝缘环的外周壁与所述卡环上表面和隔离环下表面的位于该外周壁外侧的部分形成第二凹槽，用以防止等离子体沉积到所述绝缘环的表面上。
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