[发明专利]有机层沉积设备和用其制造有机发光显示设备的方法

摘要

有机层沉积设备和使用该设备制造有机发光显示装置的方法。具体地，更易于制造且适用于在衬底上实现高清晰度图案时大量生产大型衬底的有机层沉积设备，以及使用这种设备制造有机发光显示装置的方法。

主权项

有机层沉积设备，包括：输送系统，包括移动单元、第一输送单元以及第二输送单元，所述移动单元被配置为联接有衬底并与所述衬底一起移动，第一输送单元用于在所述衬底被联接至所述移动单元时使所述移动单元在第一方向上移动，所述第二输送单元用于在沉积完成之后在所述衬底与所述移动单元分离时使所述移动单元在与所述第一方向相反的第二方向上移动；以及沉积单元，包括至少一个有机层沉积组件，所述至少一个有机层沉积组件用于在所述衬底被联接至所述移动单元时在所述衬底上沉积有机层，其中所述至少一个有机层沉积组件中的每一个均包括：至少一个沉积源，用于排放沉积材料；沉积源喷嘴单元，设置在所述至少一个沉积源的一侧，其中所述沉积源喷嘴单元中形成有至少一个沉积源喷嘴；构图狭缝片，被设置为面对所述沉积源喷嘴单元并包括沿着预定方向延伸的多个构图狭缝；遮蔽构件，设置在所述衬底与所述至少一个沉积源之间并被配置为阻挡从所述至少一个沉积源蒸发的所述沉积材料；以及丝网构件，设置在所述遮蔽构件的一侧并被配置为防止所述沉积材料从所述遮蔽构件滴落，其中所述移动单元被配置为在所述第一输送单元与所述第二输送单元之间循环移动，以及其中，当联接至所述移动单元时，所述衬底在被所述第一输送单元转移时与所述有机层沉积组件间隔预定距离，以及其中，所述丝网构件设置在所述遮蔽构件的面对所述沉积源的一侧。