[发明专利]一种在线数据监控系统及监控方法

摘要

本发明公开了一种在线数据监控系统及监控方法，属于半导体生产工艺监控技术领域；系统包括迁移单元，连接外部的存储设备；数据存储单元，连接迁移单元；输入单元；条件存储单元，连接输入单元；处理单元，分别连接数据存储单元和条件存储单元；结果调用单元；方法包括：复制保存于外部的存储设备中的半导体生产数据并保存；获取使用者输入的预设的判断条件，以及对应判断条件的判断等级；选择多个判断条件对保存于存储单元中的半导体生产数据进行匹配，随后形成相应的匹配结果数据；保存匹配结果数据；调用匹配结果数据，以供使用者查看。上述技术方案的有益效果是：排除可能影响半导体芯片生产过程的因素，提升产品良率，降低成本。

主权项

1.一种在线数据监控系统，适用于半导体芯片生产工艺中；其特征在于，包括：迁移单元，连接外部的一存储设备，用于将所述存储设备中保存的半导体生产数据复制到所述在线数据监控系统中；数据存储单元，连接所述迁移单元，用于保存所述迁移单元复制的所述半导体生产数据；输入单元，供使用者输入预设的判断条件，以及所述判断条件的判断等级；条件存储单元，连接所述输入单元，用于保存所述判断条件以及对应的所述判断等级；处理单元，分别连接所述数据存储单元和所述条件存储单元，用于在所述条件存储单元中选择多个所述判断条件与所述半导体生产数据进行匹配，并得出相应的匹配结果数据，将所述匹配结果数据保存入所述数据存储单元中；所述匹配结果数据中包括根据匹配结果和对应所述判断条件的所述判断等级被标记的所述半导体生产数据，以及被标记的所述半导体生产数据占所有所述半导体生产数据的比值；结果调用单元，连接所述数据存储单元，用于向所述数据存储单元发送调用命令，以获取所述数据存储单元中保存的相应的所述匹配结果数据；所述判断条件的判断等级被区分为合格等级和警告等级；匹配于所述合格等级的所述判断条件的所述半导体生产数据被标记为合格；不匹配于所述合格等级的所述判断条件的所述半导体生产数据被标记为不合格；匹配于所述警告等级的所述判断条件的所述半导体生产数据被标记为无需警告；不匹配于所述警告等级的所述判断条件的所述半导体生产数据被标记为需要警告。