[发明专利]固体摄像装置及其制造方法

摘要

本发明根据一个实施方式提供一种固体摄像装置，包括硅基板部、彩色滤光层、第1光学层、第2光学层及第3光学层。硅基板部包括设置在与主面平行的平面内的多个摄像部。彩色滤光层在与主面垂直的方向上与硅基板部分离，具有比硅基板部的折射率低的折射率。第1光学层设置在硅基板部与彩色滤光层之间，具有比彩色滤光层的折射率低且比硅基板部的折射率低的第1折射率，且为光透射性。第2光学层设置在第1光学层与彩色滤光层之间，具有比第1折射率高且比硅基板部的折射率低的第2折射率，是光透射性且为多晶。第3光学层设置在第2光学层与彩色滤光层之间，具有比彩色滤光层的折射率低且比第2折射率低的第3折射率，且为光透射性。

主权项

一种固体摄像装置，具备：硅基板部，包括设置在与主面平行的平面内的多个摄像部；彩色滤光层，在与上述主面垂直的方向上与上述硅基板部分离，具有比上述硅基板部的折射率低的折射率；光透射性的第1光学层，设置在上述硅基板部与上述彩色滤光层之间，具有比上述彩色滤光层的上述折射率低、且比上述硅基板部的上述折射率低的第1折射率；光透射性且多晶的第2光学层，设置在上述第1光学层与上述彩色滤光层之间，具有比上述第1折射率高且比上述硅基板部的上述折射率低的第2折射率；以及光透射性的第3光学层，设置在上述第2光学层与上述彩色滤光层之间，具有比上述彩色滤光层的上述折射率低、且比上述第2折射率低的第3折射率。