[发明专利]一种多元高熵合金薄膜及其制备方法有效
| 申请号： | 201410082293.2 | 申请日： | 2014-03-07 |
| 公开（公告）号： | CN103898463A | 公开（公告）日： | 2014-07-02 |
| 发明（设计）人： | 蒋建中;吴振福;王晓东;曹庆平;葛恺;张东武 | 申请（专利权）人： | 浙江大学 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/16;C22C30/02 |
| 代理公司： | 杭州求是专利事务所有限公司 33200 | 代理人： | 林怀禹 |
| 地址： | 310058 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种多元高熵合金薄膜及其制备方法。其组成成分为NiCrCoCuFe五元高熵合金薄膜或者NiCrCoCuFeAl4.5六元高熵合金薄膜；制备方法步骤包括：将单面抛光过的硅片基体依次通过丙酮、酒精和去离子水进行超声清洗；抛光面向上晾干；将硅片基体和高熵合金块体靶材分别放入直流磁控溅射设备真空室中的样品台和蒸发源位置上；将气压抽真空，冲入氩气；关闭样品台和蒸发源的阀门并进行预溅射；转动样品台，打开阀门进行溅射，取出得到多元高熵合金薄膜。本发明方法，溅射速率稳定，获得厚度均匀的高熵合金薄膜材料；冷却速率快，有利于抑制金属间化合物的形成，促进单一固溶体相的形成；操作工艺简单易行，扩展了高熵合金材料的应用范围。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 多元 合金 薄膜 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种多元高熵合金薄膜，其特征在于：其组成成分为NiCrCoCuFe五元高熵合金薄膜或者NiCrCoCuFeAl4.5六元高熵合金薄膜。
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