[发明专利]一种增强金属基挡板吸附薄膜态物质的工艺

摘要

本发明涉及一种吸附薄膜态物质的工艺，一种增强金属基挡板吸附薄膜态物质的工艺，首先是采用石英砂对金属基挡板进行喷砂清洗、用于增加金属基挡板表面粗糙度，然后将呈熔化或半熔化状态的高纯度的金属铝采用电弧喷涂制备到金属基挡板表面，最后将制备有铝涂层的金属基挡板进行温水浴超声清洗，清洗后使用高压氮气吹干，用于提高铝涂层的表面活性。本发明制备有铝涂层的金属基挡板在真空环境下对薄膜态物质具有较强的吸附能力，一方面大大地减小了薄膜态物质对真空室内壁的污染、保证了产品质量，另一方面也延长了金属基挡板的使用寿命、提高了生产效率。

主权项

一种增强金属基挡板吸附薄膜态物质的工艺，其特征在于包括以下步骤：（a）喷砂清洗，使用颗粒尺寸为35～45目的石英砂对金属基挡板进行喷砂清洗、用于增加金属基挡板表面粗糙度，所述喷砂清洗工艺参数为：压缩空气压力控制在0.6～0.8MPa、喷射距离控制在180～200mm、喷射角度控制在60°～90°；（b）电弧喷涂，将原材料金属呈熔化或半熔化状态制备到金属基挡板表面、得到涂层厚度为480～520μm、涂层粗糙度为100～120μm,的金属涂层，所述电弧喷涂工艺参数为：电压控制在30～35V、电流控制在180～200A、压缩空气压力控制在50～60psi、喷涂工作距离控制在150～200mm；（c）水浴清洗，将步骤（b）制备有金属涂层的金属基挡板进行27～33℃温水浴超声清洗，清洗后使用高压氮气吹干，用于提高金属涂层的表面活性。