[发明专利]一种炉管的漏水检测方法在审
| 申请号： | 201410106628.X | 申请日： | 2014-03-20 |
| 公开（公告）号： | CN103899920A | 公开（公告）日： | 2014-07-02 |
| 发明（设计）人： | 佘广超;俞玮;万家俊 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | F17D5/02 | 分类号： | F17D5/02 |
| 代理公司： | 上海申新律师事务所 31272 | 代理人： | 吴俊 |
| 地址： | 201210 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种炉管的漏水检测方法，涉及半导体集成电路制造领域。所述炉管包括：装载区和歧管，所述装载区与所述歧管连通，在所述装载区与所述歧管之间设置有换气挡板，用以密封所述装载区，其特征在于，将漏水检知线设置于所述换气挡板上表面，采用所述漏水检知线检测所述炉管是否漏水。本发明通过漏水检知线检测冷却水管和快速接头是否有漏水或渗水现象。可以迅速的检测出manifold上的PCW水管以及快速接头是否有漏水或渗水现象，第一时间知晓漏水情况，避免反复进行维护工作，在保证质量的前提下大大节省维护时间。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 炉管 漏水 检测 方法 | ||
【主权项】：
一种炉管的漏水检测方法，所述炉管包括：装载区和歧管，所述装载区与所述歧管连通，在所述装载区与所述歧管之间设置有换气挡板，用以密封所述装载区，其特征在于，将漏水检知线设置于所述换气挡板上表面，采用所述漏水检知线检测所述炉管是否漏水。
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