[发明专利]剥离装置

摘要

本发明涉及剥离装置。使升降销（361）向平面状的水平载物台部（31）的上表面突出来接受从外部搬入的工件（WK）。在由基板（SB）和橡皮布（BL）隔着图案紧贴而成的工件（WK）中的基板（SB）与橡皮布（BL）重叠且形成有有效的图案的有效区域（AR）的外侧的可抵接区域（TR）内，升降销（361）与橡皮布（BL）的下表面相抵接。通过支撑基板（SB）和橡皮布（BL）重叠的区域来抑制工件（WK）弯曲，另外，防止应力集中于有效区域（AR）内的图案的情况。

主权项

一种剥离装置，用于使第一板状体和第二板状体剥离，所述第二板状体的平面尺寸小于所述第一板状体的平面尺寸，并且所述第二板状体隔着薄膜或者图案紧贴在所述第一板状体上，所述剥离装置的特征在于，具有：保持载物台，其上表面为平面尺寸大于所述第一板状体的形成有所述薄膜或者图案的有效区域的平面尺寸的水平的保持面，使所述第一板状体的面中的与所述第二板状体紧贴的一面相反的一侧的另一面与所述保持面抵接，来保持所述第一板状体，剥离单元，其保持所述第二板状体，来使所述第二板状体相对于被保持在所述保持载物台上的所述第一板状体，向与所述第一板状体分离的方向移动，支撑构件，其上端突出到所述保持面的上方，并且所述上端与所述第一板状体的所述另一面局部抵接，从而将所述第一板状体支撑为与所述保持面分离的状态，以及升降单元，其使所述支撑构件相对于所述保持面的高度方向位置在上部位置和下部位置之间变更，所述上部位置是指，所述支撑构件的所述上端突出到所述保持面的上方的位置，所述下部位置是指，所述上端位于所述保持面的高度以下的位置；所述支撑构件抵接于所述第一板状体的所述另一面中的处于与在所述一面侧与所述第二板状体紧贴的区域相对应的区域内且所述有效区域的外侧，该剥离装置还具有空隙形成构件，该空隙形成构件使被保持在所述保持载物台上的所述第一板状体的周缘部向上方发生位移，从而在所述第一板状体的周缘部和所述保持面之间产生空隙。