[发明专利]低温泵及真空排气方法

摘要

本发明提供一种提高低温泵的气体吸留量的低温泵。本发明的低温泵（10）具备：制冷机（16）；第1低温板（18），具备放射屏蔽件（30）；以及第2低温板（20），被第1低温板（18）包围，且被冷却至低于第1低温板（18）的温度。放射屏蔽件（30）具备：安装座（37），位于第2低温板（20）的侧向，且用于将制冷机（16）安装于放射屏蔽件（30）上；以及屏蔽件部分，与安装座（37）相邻且包围第2低温板（20）。在第2低温板（20）与安装座（37）之间形成有侧向间隙（43），在第2低温板（20）与屏蔽件部分之间形成有与侧向间隙（43）连续的间隙部（44），第2低温板（20）的形状或配置被调整为使侧向间隙（43）的宽度与间隙部（44）的宽度一致。

主权项

一种低温泵，其特征在于，具备：制冷机，具备第1冷却台及被冷却成温度低于所述第1冷却台的第2冷却台；第1低温板，具备具有主开口的放射屏蔽件及配设在所述主开口的入口低温板，且与所述第1冷却台热连接；以及第2低温板，被所述第1低温板包围，且与所述第2冷却台热连接，所述放射屏蔽件具备：安装座，位于所述第2低温板的侧向，且用于将所述制冷机安装于所述放射屏蔽件上；以及屏蔽件部分，与所述安装座相邻且包围所述第2低温板，在所述第2低温板与所述安装座之间形成有侧向间隙，在所述第2低温板与所述屏蔽件部分之间形成有与所述侧向间隙连续的间隙部，所述第2低温板的形状或配置被调整为使所述侧向间隙的宽度与所述间隙部的宽度一致。