[发明专利]执行激光晶化的方法有效
| 申请号： | 201410119974.1 | 申请日： | 2014-03-27 |
| 公开（公告）号： | CN104283099B | 公开（公告）日： | 2019-08-02 |
| 发明（设计）人： | 吴郎燫;柳济吉;亚历山大·沃罗诺夫;韩圭完 | 申请（专利权）人： | 三星显示有限公司 |
| 主分类号： | H01S3/10 | 分类号： | H01S3/10 |
| 代理公司： | 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 | 代理人： | 韩芳;尹淑梅 |
| 地址： | 韩国京畿*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 提供了一种执行激光晶化的方法。所述方法包括：产生激光束；使激光束折射，以使激光束的强度在激光束的焦平面处均匀化；将强度被均匀化的激光束施加到安装在工作台上的目标基底。 | ||
| 搜索关键词： | 执行 激光 方法 | ||
【主权项】：
1.一种执行激光晶化的方法，所述方法包括：产生激光束；通过使用折射光学系统使激光束折射，以使激光束的强度在激光束的焦平面处均匀化；将强度被均匀化的激光束施加到安装在工作台上的目标基底，其中，折射光学系统包括一个折射格子透镜，其中，包括多个凹槽的折射格子形成在折射格子透镜的一个表面上，从而通过折射格子透镜使激光束分成多个子激光束并在所述多个子激光束之间发生相消干涉而使激光束的强度均匀化。
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