[发明专利]一种光刻胶的剥离装置及剥离方法

摘要

本发明公开了一种光刻胶的剥离装置及剥离方法，该剥离装置包括剥离单元、预清洗单元、清洗单元和检测单元；其中，检测单元在检测到基板处于静止状态，基板所处位置部分位于预清洗单元且部分位于剥离单元时，可以控制预清洗单元中的喷头停止对基板喷淋清洗液，这样可以防止预清洗单元中的喷头喷淋到基板上的清洗液会顺着基板流入剥离单元中的储罐内，从而可以避免污染储罐内的剥离液，进而避免影响后续的剥离工艺。

主权项

一种光刻胶的剥离装置，包括：设置有用于喷淋剥离液的喷头的剥离单元以及设置有用于喷淋清洗液的喷头的预清洗单元和清洗单元，其特征在于，还包括：检测单元，用于在检测到基板处于静止状态，所述基板所处位置部分位于所述预清洗单元且部分位于所述剥离单元时，控制所述预清洗单元中的喷头停止对所述基板喷淋清洗液；所述检测单元具体包括：监测模块，用于实时监测所述基板在所述剥离单元、所述预清洗单元以及所述清洗单元中的运动状态；确定模块，用于在所述监测模块监测到所述基板处于静止状态时，确定所述基板所处位置是否部分位于所述预清洗单元且部分位于所述剥离单元；还用于在所述监测模块监测到所述基板处于移动状态时，确定所述基板是否完全离开所述剥离单元；控制模块，用于在所述确定模块确定所述基板所处位置为部分位于所述预清洗单元且部分位于所述剥离单元时，控制所述预清洗单元中的喷头停止对所述基板喷淋清洗液；还用于在所述确定模块确定所述基板完全离开所述剥离单元时，控制所述预清洗单元中的喷头恢复喷淋清洗液。