[发明专利]离线机台利用率计算系统及计算方法

摘要

本发明公开了一种离线机台利用率的计算系统，包括用于以预定命名规则生成机台端文件的机台端文件生成单元；解析单元，用于解析各机台端文件的文件名以撷取离线机台处理每一个晶圆的运行参数信息；数据库，存储每一个离线机台的运行预备时间以及关于所述离线机台处理晶圆的运行参数的运行时间函数；以及计算单元，用于根据所述离线机台处理每一个晶圆的运行参数信息和所述运行时间函数计算每一个晶圆的运行时间，并根据各所述运行时间及所述运行预备时间获得所述离线机台处理全部晶圆的总体运行时间及所述离线机台的利用率。本发明还提供了一种离线机台利用率的计算方法，能够有效统计离线机台真实使用情况。

主权项

一种离线机台利用率的计算系统，其特征在于，包括：机台端文件生成单元，用于以预定命名规则生成机台端文件，所述机台端文件的文件名包括所述离线机台运行过程中处理的晶圆的代码信息以及所述离线机台的运行参数信息；解析单元，与所述机台端文件生成单元相连，用于解析各所述机台端文件的文件名，以撷取所述离线机台处理每一所述晶圆时的运行参数信息；数据库，用于存储每一所述离线机台的运行预备时间以及关于所述离线机台的运行参数的运行时间函数；以及计算单元，分别与所述解析单元、所述数据库相连，用于根据所述离线机台处理每一所述晶圆时的运行参数信息和所述运行时间函数计算每一所述晶圆的运行时间，并根据各所述运行时间及所述运行预备时间获得所述离线机台处理全部所述晶圆的总体运行时间及所述离线机台的利用率。