[发明专利]沉积装置和制造有机发光二极管显示器的方法

摘要

一种沉积装置和制造有机发光二极管显示器的方法，该沉积装置包括：沉积室；多个基底支架，包括被配置为将基底维持在沉积室中的第一基底位置的第一支架和被配置为将另一基底维持在沉积室中的第二基底位置的第二支架；沉积源，被设置在沉积室中，并被配置为供应沉积材料以涂覆到放置在第一和第二基底位置的基底上；沉积源传送机构，被配置为在第一方向上移动沉积源以与第一和第二基底中的一个相对；以及基底传送机构，被配置为在第二方向上将基底传送到第一基底位置或者从第一基底位置传送，并进一步被配置为在第二方向上将另一基底传送到第二基底位置或者从第二基底位置传送。

主权项

1.一种制造有机发光二极管显示器的方法，该方法包括：提供沉积装置，该沉积装置包括沉积室、配置为供应沉积材料的沉积源、以及配置为沿第一方向在第一源位置与第二源位置之间移动所述沉积源的沉积源传送机构；将第一基底从所述沉积室外沿第二方向传送，以将所述第一基底放置在所述沉积室内的第一基底位置；随后将第一沉积掩模相对于位于所述第一基底位置的所述第一基底对准；随后通过从位于所述第一源位置的所述沉积源将所述沉积材料涂覆到所述第一基底来执行所述第一基底的沉积；将第二基底从所述沉积室外侧沿第二方向传送，以将所述第二基底放置在所述沉积室内的第二基底位置；在执行所述第一基底的沉积的同时，将第二沉积掩模相对于位于所述第二基底位置的所述第二基底对准；在完成所述第一基底的沉积后，将所述沉积源沿所述第一方向从所述第一源位置传送到所述第二源位置；和随后通过从位于所述第二源位置的所述沉积源将所述沉积材料涂覆到所述第二基底来执行所述第二基底的沉积。