[发明专利]一种用于光刻机的嵌入式远程通信及控制方法

摘要

本发明提供一种用于光刻机的嵌入式远程通信及控制方法，其基本过程如下：首先，在本地搭建一台Tomcat服务器，制作动态网页，存放光刻机的数据资源，客户端通过HTTP协议进行访问；在服务器上通过第二远程控制模块，与客户端通过TCP/IP协议进行连接，实现远程通信及控制。然后，在客户端上，通过嵌入式ARM母板运行Android操作系统。第一远程控制模块通过HTTP协议访问Tomcat服务器，获取光刻机相关信息、下载文档视频等；通过TCP/IP协议与服务器端建立socket连接，上传摄像头采集的图片视频信息和各传感器参数，并接收服务器端发送回来的命令；通过RS232接口与单片机控制子板通信，发送控制命令至单片机，实现对光刻机的运动控制。

主权项

一种用于光刻机的嵌入式远程通信及控制方法，其特征在于：包括客户端（101）和服务器端（102），两者通过互联网TCP/IP协议（103）连接；）所述的服务器端（102）包括：Tomcat服务器（110），第二远程控制模块（112）；所述的Tomcat服务器（110）监听计算机端口80（109），通过HTTP协议对外提供网页、视频资源和上传文件服务；所述的第二远程控制模块（112）监听计算机端口8080（111），通过socket与客户端建立连接，接收客户端（101）提供的信息，发送光刻机控制指令到客户端（101）；所述的客户端（101）包括ARM母板（104）和单片机运动控制板（105）；所述的ARM母板（104）由网络模块（106），第一远程控制模块（107），RS232接口（108）完成通信；所述的单片机运动控制板（105）由RS232接口（108）完成与ARM母板（104）的通信。