[发明专利]向衬底涂敷流体有效
| 申请号： | 201410138551.4 | 申请日： | 2014-04-08 |
| 公开（公告）号： | CN104138824B | 公开（公告）日： | 2017-05-17 |
| 发明（设计）人： | K·皮尔希;H·利特纳;M·卡林 | 申请（专利权）人： | 英飞凌科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B05C9/14 | 分类号： | B05C9/14;B05C11/02;B05C13/02 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所11256 | 代理人： | 王茂华 |
| 地址： | 德国诺伊*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的各个实施例涉及向衬底涂敷流体。用于向衬底涂敷流体的装置包括衬底保持器；流体涂敷设备，被配置用于向所述衬底保持器上的衬底涂敷流体；加热机构，被配置用于对所述流体进行局部加热；以及控制器，被配置用于控制所述加热机构应用局部加热，以便获得所述衬底上的所述流体的希望的厚度分布。 | ||
| 搜索关键词： | 衬底 流体 | ||
【主权项】：
一种涂敷流体的装置，包括：衬底保持器；流体涂敷设备，被配置用于向所述衬底保持器上的衬底涂敷流体；加热机构，被配置用于对所述流体进行局部加热；以及控制器，被配置用于控制所述加热机构应用局部加热，以便获得所述衬底上的所述流体的希望的厚度分布，其中所述希望的厚度分布在预定的容差内是平坦分布，并且其中所述流体包括胶水，所述胶水用于将所述衬底安装到载体，并且安装到所述载体的衬底被研磨。
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B05 一般喷射或雾化；对表面涂覆液体或其他流体的一般方法
B05C 一般对表面涂布液体或其他流体的装置
B05C9-00 把液体或其他流体涂于表面的装置或设备，所采用的方法未包含在B05C 1/00至B05C 7/00组，或表面涂布液体或其他流体的方法不是重要的
B05C9-02 .对表面涂布液体或其他流体采用B05C 1/00至B05C 7/00中未包含的一个方法，不论是否还使用其他的方法
B05C9-04 .对工件的相对面涂布液体或其他流体
B05C9-06 .对工件的同一个面要求涂布两种不同的液体或其他流体，或者用同一种液体或其他流体涂布二次
B05C9-08 .涂布液体或其他流体并完成辅助操作
B05C9-10 ..在涂布之前完成辅助操作
B05C 一般对表面涂布液体或其他流体的装置
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