[发明专利]抗蚀剂剥离剂组合物有效
| 申请号： | 201410140802.2 | 申请日： | 2014-04-09 |
| 公开（公告）号： | CN104102097B | 公开（公告）日： | 2019-11-22 |
| 发明（设计）人： | 尹嚆重;金祐逸;房淳洪 | 申请（专利权）人： | 东友精细化工有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/42 | 分类号： | G03F7/42 |
| 代理公司： | 11291 北京同达信恒知识产权代理有限公司 | 代理人： | 杨黎峰;石磊<国际申请>=<国际公布>= |
| 地址： | 韩国全罗*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明公开了一种抗蚀剂剥离剂组合物，包括：1重量%至10重量%的有机氢氧化季铵；40重量%至80重量%的二甲亚砜；1重量%至25重量%的基于乙二醇醚的有机溶剂；1重量%至25重量%的具有1个至20个碳原子的烷基胺；0.001重量%至1重量%的无机碱或其盐；和余量的水。根据具有上述构成的抗蚀剂剥离剂，可以通过溶解从基板去除滤色器抗蚀剂，从而获得极佳的剥离能力，可以使器件中的滤色器堵塞降到最低程度，并且可以剥离负型有机绝缘膜抗蚀剂和正型有机绝缘膜抗蚀剂以及滤色器抗蚀剂，而不损坏底层和各种金属布线。 | ||
| 搜索关键词： | 抗蚀剂 剥离 组合 | ||
【主权项】：
1.一种抗蚀剂剥离剂组合物，包括：1重量％至10重量％的有机氢氧化季铵；40重量％至80重量％的二甲亚砜；1重量％至25重量％的基于乙二醇醚的有机溶剂；1重量％至25重量％的由用于溶解抗蚀剂中的染料的具有1个至20个碳原子的烷基胺组成的基于胺的化合物；0.001重量％至1重量％的无机碱或其盐；和余量的水。/n
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