[发明专利]一种掩模板

摘要

本发明公开了一种掩模板，用以提供一种新型结构的掩模板，避免掩模板上因静电释放而破坏掩模板上掩模图形的问题。所述掩模板包括衬底，以及位于所述衬底上的透光区域和遮光区域，所述遮光区域设置有至少两个分别具有设定掩模图形且可导电的遮光层，还包括一个或多个分别用于电连接至少两个所述遮光层的连接线，所述连接线的宽度为0.3～1.5μm。

主权项

一种掩模板，其特征在于，包括：衬底和所述衬底上的透光区域和遮光区域，所述遮光区域设置有至少两个分别具有设定掩模图形且可导电的遮光层，其中，所述遮光层至少包括第一遮光层和除所述第一遮光层之外的其它遮光层，所述第一遮光层为梳状结构，所述其它遮光层中的每一个遮光层均为条状结构，且所述其它遮光层与所述第一遮光层中的梳齿状结构间隔排列；还包括：一个或多个分别用于电连接至少两个所述遮光层的连接线，所述连接线的宽度为0.3～1.5μm。