[发明专利]一种半导体处理系统中流体除气泡装置及其除气泡方法

摘要

本发明属于半导体处理系统中对流体处理的领域，具体地说是一种半导体处理系统中流体除气泡装置及其除气泡方法，装置包括液体容器、液体泵、三通接头、第一、二控制器、第一、二通断阀、喷嘴、废液回收桶及液体泵控制器，三通接头分别通过管路与液体泵及第一、二通断阀相连通，液体容器通过管路与液体泵相连通、为除气泡装置提供液体，废液回收桶通过管路与第一通断阀相连通、回收经第一通断阀流出的液体，喷嘴通过管路与第二通断阀相连通、经第二通断阀流出的液体进入喷嘴；方法为通过各控制器控制通断阀的开关和液体泵的工作来除去流体中的气泡。本发明可以实现微小流量流体的气泡清除，保证出口流体的流量稳定，增加的装置简单，控制方便。

主权项

一种半导体处理系统中流体除气泡装置的除气泡方法，其特征在于：包括液体容器(1)、液体泵(2)、三通接头(3)、第一控制器(4)、第一通断阀(5)、喷嘴(6)、第二控制器(7)、第二通断阀(8)、废液回收桶(9)及液体泵控制器(10)，其中三通接头(3)分别通过管路与由液体泵控制器(10)控制开关的液体泵(2)、由第一控制器(4)控制开关的第一通断阀(5)及由第二控制器(7)控制开关的第二通断阀(8)相连通，所述液体容器(1)通过管路与液体泵(2)相连通、为所述除气泡装置提供液体，所述废液回收桶(9)通过管路与第一通断阀(5)相连通、回收经所述第一通断阀(5)流出的液体，所述喷嘴(6)通过管路与第二通断阀(8)相连通、经所述第二通断阀(8)流出的液体进入喷嘴(6)，除气泡方法的步骤分为：工作准备状态，第一控制器(4)控制第一通断阀(5)处于打开状态，第二控制器(7)控制第二通断阀(8)处于关闭状态，液体泵控制器(10)控制液体泵(2)供液，将所述第一通断阀(5)与三通接头(3)之间的管路填充满液体后，所述液体泵(2)停止工作，第一通断阀(5)关闭，多余液体排入所述废液回收桶(9)；工作状态，所述第二通断阀(8)打开，液体泵控制器(10)控制液体泵(2)供液，液体经过第二通断阀(8)进入所述喷嘴(6)，液体中的气泡上升至所述第一通断阀(5)的底端累积；排气状态，该排气状态与所述工作准备状态相同，第一通断阀(5)打开，第二通断阀(8)关闭，液体泵控制器(10)控制液体泵(2)供液，第一通断阀(5)的底端累积的气体随液体排出。