[发明专利]玻璃封装体的密封装置在审
| 申请号： | 201410149111.9 | 申请日： | 2014-04-15 |
| 公开（公告）号： | CN105023880A | 公开（公告）日： | 2015-11-04 |
| 发明（设计）人： | 孙见奇;朱树存;赵灿武 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/02 | 分类号： | H01L23/02;H01L51/56 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种玻璃封装体的密封装置，包括：光源，用于提供装置所需的光束；振镜，实现光束的扫描运动；远心场镜，用于将振镜中的倾斜入射光转为垂直光束入射到玻璃封装体上；龙门架，具有第一方向和第二方向运动自由度，用于带动振镜和远心场镜在第一方向和第二方向运动；工件台，具有第二方向运动自由度，用于装卸和承载玻璃封装体；底座，带有减震模块，用于承载所述龙门架及工件台；以及控制系统，用于控制所述光源、振镜、远心场镜、龙门架以及工件台动作。本发明可以很好地完成对玻璃封装体的激光封装，同时解决了现有技术中激光倾斜入射时的垂向串扰问题，提升了定位精度，同时便于对激光功率的控制。 | ||
| 搜索关键词： | 玻璃封装 密封 装置 | ||
【主权项】：
一种玻璃封装体的密封装置，所述玻璃封装体包括多个封装单元，其特征在于，包括：光源，用于提供封装光束；振镜，实现所述封装光束沿封装单元封装线进行扫描运动；远心场镜，用于将所述振镜的倾斜出射的封装光束转为垂直封装光束入射到所述封装单元的封装线上；龙门架，具有第一方向和第二方向自由度，用于承载所述振镜和远心场镜沿第一方向和第二方向运动，其中第一方向垂直于第二方向；以及工件台，用于承载所述玻璃封装体。
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