[发明专利]集成电路测试方法及测试装置有效
| 申请号： | 201410151334.9 | 申请日： | 2014-04-15 |
| 公开（公告）号： | CN103954877B | 公开（公告）日： | 2017-03-08 |
| 发明（设计）人： | 张郑欣;徐帅;郑义 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;北京京东方光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/02 | 分类号： | G01R31/02 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司11002 | 代理人： | 李迪 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种集成电路测试方法及装置，所述集成电路测试方法用于通过测量待测集成电路的N个待测焊盘之间的电阻值是否正常来判断信号线之间是否存在短路，包括如下步骤对所述N个待测焊盘之间的个电阻进行分组；测量第一组电阻的并联电阻值，如果所述第一组电阻的并联电阻值大于预定电阻值，则测量下一组电阻的并联电阻值，如果每一组电阻的并联电阻值均大于所述预定电阻值，则测试结束，判断所述待测集成电路的信号线之间不存在短路现象，其中N为大于3的整数。 | ||
| 搜索关键词： | 集成电路 测试 方法 装置 | ||
【主权项】：
一种集成电路测试装置，其特征在于，所述集成电路测试装置包括：承载待测集成电路的基台；设置在所述基台上方的测试头，所述测试头包括N个探针，通过移动所述测试头来使所述N个探针分别与所述待测集成电路的N个待测焊盘接触，以及测试电路，用于判断所述待测集成电路是否存在短路，所述测试电路包括多个开关和电阻计，其中所述N个探针中的每一个通过一个开关与所述电阻计连接，并且第一个探针与第二个至第N个探针间各连接一个开关，第二个探针与第三至第N个探针间各连接一个开关，以此类推，直到第N‑2与第N个探针间连接一个开关，其中N为大于3的整数。
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