[发明专利]剥离光阻用组成物及其使用方法在审
| 申请号： | 201410157681.2 | 申请日： | 2014-04-18 |
| 公开（公告）号： | CN104122763A | 公开（公告）日： | 2014-10-29 |
| 发明（设计）人： | 刘骐铭;施俊安 | 申请（专利权）人： | 奇美实业股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/42 | 分类号： | G03F7/42 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;李茂家 |
| 地址： | 中国台湾台南市*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： |
本发明涉及剥离光阻用组成物及其使用方法。一种剥离光阻用组成物包含胺系化合物、醇系化合物、季铵盐化合物、有机溶剂以及水。该胺系化合物包括至少一种由下列群组所组成的叔胺系化合物：式(I)所示的氮杂环化合物及具有至少两个叔胺的链状多胺化合物。该醇系化合物包括至少一种由下列群组所组成的第一醇系化合物：糖系化合物及含炔基的醇系化合物。 |
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| 搜索关键词： | 剥离 光阻用 组成 及其 使用方法 | ||
【主权项】：
一种剥离光阻用组成物，其特征在于包含：胺系化合物，包括至少一种由下列群组所组成的叔胺系化合物：式(I)所示的氮杂环化合物及具有至少两个叔胺的链状多胺化合物；![]()
于式(I)中，A及B分别表示![]()
或![]()
条件是A及B中至少一者表示![]()
其中，该R表示未经取代的C1至C4的烷基，或经取代的C1至C4的烷基；醇系化合物，包括至少一种由下列群组所组成的第一醇系化合物：糖系化合物及含炔基的醇系化合物；季铵盐化合物；有机溶剂；以及水。
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