[发明专利]同步快速真空工艺的设备有效

专利信息
申请号: 201410160485.0 申请日: 2014-04-21
公开(公告)号: CN105002473B 公开(公告)日: 2017-06-27
发明(设计)人: 邱敬凯;余端仁 申请(专利权)人: 友威科技股份有限公司
主分类号: C23C14/56 分类号: C23C14/56;C23F1/08
代理公司: 北京律诚同业知识产权代理有限公司11006 代理人: 梁挥,常大军
地址: 中国台*** 国省代码: 台湾;71
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摘要: 发明提供一种同步快速真空工艺的设备,包括一工艺装置、一取放机构以及一独立腔体,其中,该工艺装置一真空腔体、一传动单元、一升降单元以及两工艺单元,该真空腔体包括一取放开口,该传动单元可移动地设置于该真空腔体且包括两载具,该升降单元设置于该真空腔体且可顶撑各该载具至该取放开口,该取放开口可被各载具封闭,各工艺单元设置于该真空腔体且可被各载具对应,该取放机构设置于该真空腔体且包括两升降吸盘,各升降吸盘可分别对应封闭该取放开口,该独立腔体可被各升降吸盘与各载具封闭形成,且与该真空腔体相互隔离。
搜索关键词: 同步 快速 真空 工艺 设备
【主权项】:
一种同步快速真空工艺的设备,其特征在于,包括有:一工艺装置,包括一真空腔体、一传动单元、一升降单元以及两工艺单元,其中,该真空腔体为中空状且保持恒定真空状态,该真空腔体包括一取放开口,该取放开口贯穿该真空腔体的一侧,该传动单元设置于该真空腔体内且包括一载盘、一驱动件以及两载具,该载盘设置于该真空腔体内且包括两间隔设置贯穿该载盘的载盘孔,各该载盘孔择一地对合该取放开口,该驱动件连动于该载盘,各该载具选择性地被承载于该载盘,且各该载具的尺寸大于各该载盘孔的尺寸,该升降单元设置于该真空腔体且包括一中间升降机构,该中间升降机构设置于该真空腔体且对应该取放开口处,该中间升降机构选择性地顶撑各载具穿过各该载盘孔,各该工艺单元设置且连通于该真空腔体;一入料传送机构,其设置于该真空腔体的一侧;一出料传送机构,其设置于该真空腔体远离该入料传送机构的一侧;一取放机构,其设置于该真空腔体且包括一移动轨道以及一取放臂,该移动轨道架设于该真空腔体,该取放臂能够移动地设置于该移动轨道且包括两升降吸盘,各该升降吸盘分别设置于该取放臂的两端,各该升降吸盘根据该取放臂的移动位置分别择一地对应该入料传送机构与该出料传送机构其中之一,以及该取放开口,各该升降吸盘的尺寸大于该取放开口的尺寸,各该升降吸盘选择性地封闭该取放开口;以及一独立腔体,其选择性地被其中一升降吸盘、其中一载具以及该取放开口封闭形成,该独立腔体与该真空腔体相互隔离。
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