[发明专利]基板搬运装置以及利用该基板搬运装置的基板搬运方法在审
| 申请号： | 201410160849.5 | 申请日： | 2014-04-21 |
| 公开（公告）号： | CN104108606A | 公开（公告）日： | 2014-10-22 |
| 发明（设计）人： | 金兑炫;金东赫;金祥铉 | 申请（专利权）人： | 现代重工业株式会社 |
| 主分类号： | B65G49/05 | 分类号： | B65G49/05 |
| 代理公司： | 北京鸿元知识产权代理有限公司 11327 | 代理人： | 姜虎;陈英俊 |
| 地址： | 韩国蔚*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明涉及基板搬运装置以及利用该基板搬运装置的基板搬运方法，基板搬运装置包括：支撑部，用于支撑基板；臂单元，所述支撑部可旋转地结合于所述臂单元；臂底座，所述臂单元可旋转地结合于所述臂底座；以及驱动部，旋转所述臂单元以及所述支撑部以移动所述支撑部，其中，在所述驱动部移动所述支撑部的过程中，朝向所述支撑部的蛇行方向的反方向移动支撑部。 | ||
| 搜索关键词： | 搬运 装置 以及 利用 方法 | ||
【主权项】：
一种基板搬运装置，其特征在于，包括：支撑部，用于支撑基板；臂单元，所述支撑部可旋转地结合于所述臂单元；臂底座，所述臂单元可旋转地结合于所述臂底座；驱动部，旋转所述臂单元以及所述支撑部以移动所述支撑部；以及旋转部，旋转所述臂底座，以变更所述支撑部的朝向，其中，在所述驱动部移动所述支撑部的过程中，所述旋转部朝向所述支撑部的蛇行方向的反方向旋转所述臂底座。
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