[发明专利]光学非破坏检查装置以及光学非破坏检查方法

摘要

本发明提供一种光学式非破坏检查装置及使用了该光学式非破坏检查装置的光学式非破坏检查方法。该装置具备聚光准直装置(10)、加热用激光光源(21)、加热用激光导光装置、红外线检测器(31)、放射红外线导光装置、修正用激光光源(22)、修正用激光导光装置、修正用激光检测器(32)、反射激光导光装置、和控制装置(50)。控制装置(50)控制加热用激光光源(21)和修正用激光光源(22)，并且，基于来自红外线检测器(31)的检测信号和来自修正用激光检测器(32)的检测信号，来测定与加热时间对应的测定点SP的温度上升状态亦即温度上升特性，并基于温度上升特性来判定测定对象物(接合构造部位(97))的状态。

主权项

一种光学非破坏检查装置，其特征在于，包括：聚光准直装置，其从第2侧射出沿着光轴从第1侧入射的平行光，朝向作为焦点位置而设定在测定对象物上的测定点进行聚光，并且将从所述测定点放射以及被反射并从第2侧入射的光变换为沿着光轴的平行光并从第1侧射出；加热用激光光源，其射出不破坏测定对象物而进行加热的激光；加热用激光导光装置，其将所述加热用激光向所述聚光准直装置的第1侧引导；红外线检测器，其能够检测从所述测定点放射的红外线；放射红外线导光装置，其从由所述测定点放射并从所述聚光准直装置的第1侧射出的平行光中将所规定的红外线波长的红外线向所述红外线检测器引导；修正用激光光源，其射出与所述加热用激光相比是小的输出且波长不同的修正用激光；修正用激光导光装置，其将所述修正用激光向所述聚光准直装置的第1侧引导；修正用激光检测器，其能够检测被所述测定点反射的所述修正用激光；反射激光导光装置，其将被所述测定点反射并从所述聚光准直装置的第1侧射出的所述修正用激光向所述修正用激光检测器引导；以及控制装置，所述控制装置控制所述加热用激光光源和所述修正用激光光源，并且，基于来自所述红外线检测器的检测信号和来自所述修正用激光检测器的检测信号，测定与加热时间对应的所述测定点的温度上升状态亦即温度上升特性，并基于测定出的所述温度上升特性来判定测定对象物的状态。