[发明专利]物理量检测元件以及物理量检测装置有效
| 申请号： | 201410171190.3 | 申请日： | 2014-04-25 |
| 公开（公告）号： | CN104122015B | 公开（公告）日： | 2019-04-19 |
| 发明（设计）人： | 中根健智;羽迫义浩;岛津侑宜 | 申请（专利权）人： | 三美电机株式会社 |
| 主分类号： | G01L1/18 | 分类号： | G01L1/18;G01L9/06 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 张敬强 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种无论玻璃基板的厚度如何都能够抑制输出变动量的物理量检测元件等。本物理量检测元件具有：玻璃基板；具备物理量检测部的基板；通过在上述玻璃基板的一方的面接合上述基板而形成的密封的空间；以及形成于上述玻璃基板的另一方的面且防止上述玻璃基板的另一方的面与大气中水分的接触的功能膜。 | ||
| 搜索关键词： | 物理量 检测 元件 以及 装置 | ||
【主权项】：
1.一种物理量检测元件，其特征在于，具有：厚度为800μm以下的玻璃基板；具备检测绝对压力的物理量检测部的基板；通过在上述玻璃基板的一方的面接合上述基板而形成的密封且保持为真空状态的空间；以及形成于上述玻璃基板的另一方的面，且防止上述玻璃基板的另一方的面与大气中水分的接触的功能膜。
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