[发明专利]电容变换器及其制造方法、探测器以及对象信息获取装置有效
申请号: | 201410171904.0 | 申请日: | 2014-04-25 |
公开(公告)号: | CN104117476B | 公开(公告)日: | 2019-11-15 |
发明(设计)人: | 虎岛和敏;长永兼一 | 申请(专利权)人: | 佳能株式会社 |
主分类号: | B06B1/02 | 分类号: | B06B1/02 |
代理公司: | 11038 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人: | 罗银燕<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明涉及电容变换器及其制造方法、探测器以及对象信息获取装置。电容变换器中的旁瓣被缩减。提供了一种电容变换器,该电容变换器包括:包含多个单元的元件,所述多个单元被支撑,使得包含其间形成有间隙的一对电极之一的振动膜片能够振动,其中,元件端部中的单元之间的距离大于元件中间部分中的单元之间的距离。 | ||
搜索关键词: | 电容 变换器 及其 制造 方法 探测器 以及 对象 信息 获取 装置 | ||
【主权项】:
1.一种电容变换器,其特征在于,包括:/n包含多个单元的元件,所述多个单元包括多个有源单元和多个伪单元,所述多个有源单元被支撑使得包含其间形成有间隙的一对电极之一的振动膜片能够振动,所述多个有源单元被电连接,所述多个伪单元被支撑使得包含其间形成有间隙的一对电极之一的振动膜片能够振动,所述多个伪单元被布置在所述多个有源单元之间并且不被电连接,/n其中,所述一对电极中的一个电极是信号提取电极并且被所述元件的所述多个有源单元共享,/n其中,元件端部中的有源单元的单元位置之间的距离大于元件中间部分中的有源单元的单元位置之间的距离,并且元件端部中的所述多个有源单元的密度低于元件中间部分中的所述多个有源单元的密度,/n其中,元件端部中的所述多个有源单元的直径等于元件中间部分中的所述多个有源单元的直径,并且/n其中,所述多个单元中的相邻单元的单元位置之间的距离相等。/n
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