[发明专利]一种膜及其制备方法、显示面板及显示装置有效
申请号: | 201410188019.3 | 申请日: | 2014-05-06 |
公开(公告)号: | CN103978746A | 公开(公告)日: | 2014-08-13 |
发明(设计)人: | 李玉军 | 申请(专利权)人: | 上海天马有机发光显示技术有限公司;天马微电子股份有限公司 |
主分类号: | B32B9/04 | 分类号: | B32B9/04;B32B37/00 |
代理公司: | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人: | 刘松 |
地址: | 201201 上海市浦*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明公开了一种膜及其制备方法、显示面板及显示装置,包括:通过在基材上沉积多晶硅膜层,以及在多晶硅膜层之上形成碳化硅膜层,从而,形成用以保护显示面板的保护膜。由于所述保护膜的碳化硅膜层的抗划伤能力较强,防爆能力较好,而且厚度较薄,因此,可以作为显示面板的保护膜。 | ||
搜索关键词: | 一种 及其 制备 方法 显示 面板 显示装置 | ||
【主权项】:
一种膜,其特征在于,包括:基材;设置在所述基材的第一表面的第一膜层,其中,所述第一膜层包括靠近所述基材的第一多晶硅膜层,以及位于所述多晶硅膜层上远离所述基材的第一碳化硅膜层。
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