[发明专利]一种监控装置有效
| 申请号： | 201410188927.2 | 申请日： | 2014-05-06 |
| 公开（公告）号： | CN103981505A | 公开（公告）日： | 2014-08-13 |
| 发明（设计）人： | 刘晓伟;刘耀;丁向前;白金超 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;北京京东方显示技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/54 | 分类号： | C23C14/54;G01R27/26 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 李迪 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及真空镀膜技术领域，具体涉及一种用于监控挡板机构寿命的监控装置。该监控装置包括用于真空镀膜的腔室，还包括电容测试装置和位于腔室内的挡板机构，所述挡板机构为由多个挡板面所围成的密闭结构，其中至少一个所述挡板面包括固定挡板和活动挡板，所述活动挡板绕所述固定挡板转动，且活动挡板转动后与相邻挡板面平行，所述相邻挡板面和活动挡板分别与电容测试装置连接，所述电容测试装置用于测试所述相邻挡板面与活动挡板之间的电容。该监控装置可以准确监控挡板寿命，实现设备的精确化管理；该监控装置在不增加制造成本的基础上，结构简单，可无需开腔就可以实现对挡板机构的寿命进行精确管理，有效降低产线设备的运营成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 监控 装置 | ||
【主权项】：
一种监控装置，包括用于真空镀膜的腔室，其特征在于，还包括电容测试装置(1)和位于腔室内的挡板机构(2)，所述挡板机构(2)为由多个挡板面所围成的密闭结构，其中至少一个所述挡板面包括固定挡板(21)和活动挡板(22)，所述活动挡板(22)绕所述固定挡板(21)转动，且活动挡板(22)转动后与相邻挡板面平行，所述相邻挡板面和活动挡板(22)分别与电容测试装置(1)连接，所述电容测试装置(1)用于测试所述相邻挡板面与活动挡板(22)之间的电容。
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