[发明专利]金属互连线拼接版图结构有效
| 申请号： | 201410193170.6 | 申请日： | 2014-05-08 |
| 公开（公告）号： | CN103943603A | 公开（公告）日： | 2014-07-23 |
| 发明（设计）人： | 宋辉;孙昌;王艳生 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/528 | 分类号： | H01L23/528;G03F1/60 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 王宏婧 |
| 地址： | 201203 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种金属互连线拼接版图结构，包括：形成有第一类互联金属互连线图形的第一拼接模块以及形成有第二类互连金属互连线图形的第二拼接模块，所述第一类互连金属互连线图形的拼接端的一定线长上具有线宽大于第二类金属互连线图形的线宽的连接头图形，所述第二拼接模块的拼接端设有线长不大于所述连接头图形线长的对准叠合区，所述连接头图形在第一拼接模块和第二拼接模块拼接时与对准叠合区中的第二类金属互连线图形对准叠合。通过连接头图形以及对准叠合区的对准叠合，解决了在两芯片的金属互连线拼接过程中由于金属互连线对准错位而产生的拼接缺陷问题，增加了拼接工艺的稳定性，提高了产品良率和性能。 | ||
| 搜索关键词： | 金属 互连 拼接 版图 结构 | ||
【主权项】：
一种金属互连线拼接版图结构，其特征在于，包括：形成有第一类互联金属互连线图形的第一拼接模块以及形成有第二类互连金属互连线图形的第二拼接模块，所述第一类互连金属互连线图形的拼接端的一定线长上具有线宽大于第二类金属互连线图形的线宽的连接头图形，所述第二拼接模块的拼接端设有线长不大于所述连接头图形线长的对准叠合区，所述连接头图形在第一拼接模块和第二拼接模块拼接时与对准叠合区中的第二类金属互连线图形对准叠合。
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