[发明专利]用于真空镀膜的玻璃基板架及其镀膜系统和镀膜系统的传输方法

摘要

用于真空镀膜的玻璃基板架及其镀膜系统和镀膜系统的传输方法，属于真空镀膜中的玻璃基板传输技术及关键工艺装备。本发明用于真空镀膜的玻璃基板架包括至少一个凹形的用来装载玻璃基板的底面封闭或底面中空的边框容置区。具有所述玻璃基板架的镀膜系统还包括玻璃基板架传输装置以及与玻璃基板架平行设置的镀膜装置。使用所述玻璃基板架的传输方法是玻璃基板架倾斜站立在所述玻璃基板架传输装置上且边框容置区的边缘与所述玻璃基板架的水平方向的底边水平线形成倾斜角度。本发明用于真空镀膜的玻璃基板架及其镀膜系统结构简单，利用所述玻璃基板架的传输方法通过设置玻璃基板架的凹形边框容置区结构及玻璃基板架和凹形边框容置区的各自位置关系代替夹具实现玻璃基板的稳固传输，解决了因夹具影响使得玻璃基板镀膜阴影、小颗粒污染等镀膜良品率低的问题。

主权项

具有用于真空镀膜的玻璃基板架的镀膜系统，其特征在于，包括玻璃基板架（4）、玻璃基板架传输装置（7）以及与所述玻璃基板架平行设置的镀膜装置（6），所述玻璃基板架（4）包括至少一个凹形的用来装载玻璃基板（1）的底面封闭或底面中空的边框容置区(5)；所述边框容置区(5)包括用以支撑玻璃基板（1）的底面和形成所述边框容置区(5)的边框的外周边，所述边框容置区(5) 的外周边与所述玻璃基板架(4) 表面平齐或所述边框容置区(5) 的外周边从所述玻璃基板架（4）表面向外延伸，所述底面与所述玻璃基板架(4)表面垂直距离为0.5mm~5mm，所述边框容置区(5)支撑玻璃基板的位置设置缓冲部件，所述玻璃基板架(4)由金属或耐高温板加工制成，所述边框容置区（5）的底边（52）与所述玻璃基板架（4）的水平方向的底边水平线面之间的夹角为玻璃基板架容置区倾角β，且所述玻璃基板架容置区倾斜角β为1~30°，玻璃基板（1）的大小小于边框容置区（5）的大小，所述镀膜装置（6）与所述玻璃基板架（4）的平行间距为10mm~1000mm，所述镀膜装置（6）为旋转靶材或平面靶材的磁控溅射源，边框容置区（5）的左侧边（53）和顶边（51）的夹角、左侧边（53）与底边（52）的夹角、右侧边（54）和顶边（51）的夹角、右侧边（54）和底边（52）的夹角处均设置缓冲部件。