[发明专利]位置检测装置、位置检测方法以及基板的制造方法有效
申请号: | 201410201259.2 | 申请日: | 2014-05-13 |
公开(公告)号: | CN104159410B | 公开(公告)日: | 2018-10-09 |
发明(设计)人: | 有动隆 | 申请(专利权)人: | JUKI株式会社 |
主分类号: | H05K3/30 | 分类号: | H05K3/30;H05K13/02;H05K13/08 |
代理公司: | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人: | 何立波;张天舒 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明提供一种在输送部中例如不利用止动器而使基板停止的情况下,能够适当地检测基板的停止位置的技术。本技术所涉及的位置检测装置具有拍摄部、输送部以及控制部。所述输送部沿输送方向输送基板,使正输送的所述基板停止。所述控制部利用所述拍摄部对停止的所述基板的输送方向上的边缘进行拍摄,基于拍摄到的图像内的所述基板的边缘位置,对所述基板的停止位置进行检测。 | ||
搜索关键词: | 位置 检测 装置 方法 以及 制造 | ||
【主权项】:
1.一种位置检测装置,其具有:拍摄部;输送部,其将基板沿输送方向输送,使正输送的所述基板停止;移动机构,其使所述拍摄部或者所述基板沿输送方向移动,以使得所述拍摄部以及停止的所述基板在所述输送方向上的相对位置变化;以及控制部,其利用所述拍摄部对停止的所述基板的输送方向上的边缘进行拍摄,基于拍摄到的图像内的所述基板的边缘位置,对所述基板的停止位置进行检测,所述控制部最初在边缘停止预想位置处,利用所述拍摄部尝试拍摄所述边缘,该边缘停止预想位置是预想所述基板的边缘所停止的位置,所述控制部对在所述边缘停止预想位置处由所述拍摄部拍摄到的图像是否是包含所述边缘在内的图像进行判定,在所述图像不是包含所述边缘在内的图像的情况下,执行下述重试处理,即,利用所述移动机构使所述拍摄部以及所述基板的所述输送方向上的相对位置变化,再次利用所述拍摄部尝试拍摄所述边缘,所述控制部在所述重试处理中,基于在所述边缘停止预想位置处由所述拍摄部拍摄到的图像,对在所述输送方向上应使所述拍摄部或者所述基板移动的方向进行判定。
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