[发明专利]垂直导电单元及其制造方法有效
申请号: | 201410207353.9 | 申请日: | 2014-05-16 |
公开(公告)号: | CN104168708B | 公开(公告)日: | 2017-06-13 |
发明(设计)人: | 黄堂杰 | 申请(专利权)人: | 律胜科技股份有限公司 |
主分类号: | H05K1/02 | 分类号: | H05K1/02;H05K3/46;G03F7/004 |
代理公司: | 北京戈程知识产权代理有限公司11314 | 代理人: | 程伟 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 台湾;71 |
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摘要: | 本发明提供一种垂直导电单元及其制造方法。该垂直导电单元包含包含连接孔道的绝缘层、第一导体、第二导体及第三导体,其中该绝缘层包含感光性聚酰亚胺,且该感光性聚酰亚胺的玻璃转移温度为小于约200℃。本发明还提供制造该垂直导电单元的方法。 | ||
搜索关键词: | 垂直 导电 单元 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
一种垂直导电单元,其包含:绝缘层,其包含上表面及下表面,且所述绝缘层包含连接孔道贯穿所述绝缘层;第一导体,其与所述绝缘层的下表面接触;第二导体,其与所述绝缘层的上表面接触;及第三导体,其位于所述连接孔道中,并接触所述第一导体与所述第二导体;其中所述绝缘层包含感光性聚酰亚胺,且所述感光性聚酰亚胺的玻璃转移温度Tg为小于200℃,其中,所述感光性聚酰亚胺由下式(1)所示的单元与下式(2)所示的单元共聚而成,或者包含下式(15)所示的单元:R1选自由下式(3)至(4)及(6)至(8)所组成的组;R2选自由下式(9)至(14)所组成的组;R*代表;R3代表及x代表1至20的整数;R4为R5选自由下式(16)至(22)所组成的组;
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