[发明专利]一种管状钼靶材的制备方法

摘要

本发明提供了一种管状钼靶材的制备方法，包括以下步骤：一、将钼粉压制成钼管坯；二、采用两段烧结工艺，对钼管坯进行烧结处理；三、将烧结处理后的钼管坯进行加热，然后进行挤压加工，车削加工后得到管状钼靶材。本发明制备方法少切屑，生产效率高，钼管长度可调，并且具有明显的成本优势；本发明生产工艺流程短，金属损耗小，综合成品率高，能够方便、快捷、大量地生产溅射用管状靶材。

主权项

一种管状钼靶材的制备方法，其特征在于，该方法包括以下步骤：步骤一、采用冷等静压成型将钼粉压制成钼管坯；步骤二、对步骤一中所述钼管坯进行烧结处理，具体过程为：步骤201、一段烧结：将钼管坯竖直放置于烧结炉中，先升温至350℃～450℃后保温3h～4h，再升温至750℃～850℃后保温3h～4h，然后升温至1100℃～1250℃后保温3h～4h，之后升温至1400℃～1500℃后保温4h～6h，随炉冷却；步骤202、二段烧结：将步骤201中经一段烧结后的钼管坯倒置于烧结炉中，然后升温至1800℃～2000℃后保温5h～6h，随炉冷却；步骤三、将步骤202中二段烧结后的钼管坯在温度为1200℃～1300℃的条件下保温5min～30min，然后送入挤压机中，在挤压比为4.2～5的条件下进行挤压，经车削加工后得到管状钼靶材。