[发明专利]金属遮罩制造方法以及金属遮罩有效
| 申请号： | 201410210364.2 | 申请日： | 2014-05-19 |
| 公开（公告）号： | CN103981486B | 公开（公告）日： | 2017-04-12 |
| 发明（设计）人： | 蔡宽道;赖建宏;胡清渊;李清锋;涂嘉旭;潘昆志 | 申请（专利权）人： | 达运精密工业股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23F1/02 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司11006 | 代理人： | 梁挥,李岩 |
| 地址： | 中国台湾台中市大*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种金属遮罩制造方法，包含(a)在基板的第一面设置具有第一镂空区的第一防蚀刻层；(b)在基板相对第一面的第二面上设置第二防蚀刻层；其中第二防蚀刻层上的第二镂空区与第一镂空区相对；(c)对第一面及第二面进行第一次蚀刻，使第一面为第一镂空区所曝露的区域形成第一凹陷部及使第二面为第二镂空区所曝露的区域形成第二凹陷部；其中第一凹陷部及第二凹陷部为基板的一部分所隔绝；(d)布设保护层填入第一凹陷部内；(e)自第二面进行第二次蚀刻，使第一凹陷部及第二凹陷部产生穿口；(f)去除第二防蚀刻层；以及(g)自第二面进行第三次蚀刻。 | ||
| 搜索关键词： | 金属 制造 方法 以及 | ||
【主权项】：
一种金属遮罩制造方法，包含下列步骤：(a)在一基板的一第一面设置一第一防蚀刻层；其中该第一防蚀刻层上具有一第一镂空区；(b)在该基板相对该第一面的一第二面上设置一第二防蚀刻层；其中该第二防蚀刻层上的一第二镂空区与该第一镂空区相对；(c)对该第一面及该第二面进行一第一次蚀刻，使该第一面为该第一镂空区所曝露的区域形成一第一凹陷部及使该第二面为该第二镂空区所曝露的区域形成一第二凹陷部；其中该第一凹陷部及该第二凹陷部为该基板的一部分所隔绝；(d)布设一保护层填入该第一凹陷部内；(e)自该第二面进行第二次蚀刻，使该第一凹陷部及该第二凹陷部产生一穿口，并于该穿口横向宽度与该第一凹陷部最大横向宽度相近时停止该第二次蚀刻；(f)去除该第二防蚀刻层以暴露出该第二面及该第二凹陷部；以及(g)自该第二面进行第三次蚀刻以令该第二凹陷部自该第二面往第一面扩大，并侵蚀该第二面。
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