[发明专利]一种尖锥阴极与锥形栅孔对应的冷阴极三极管无效
申请号: | 201410212192.2 | 申请日: | 2014-05-19 |
公开(公告)号: | CN103996586A | 公开(公告)日: | 2014-08-20 |
发明(设计)人: | 狄云松;于彩茹;张晓兵;王琦龙;雷威;崔云康 | 申请(专利权)人: | 东南大学 |
主分类号: | H01J1/304 | 分类号: | H01J1/304 |
代理公司: | 南京瑞弘专利商标事务所(普通合伙) 32249 | 代理人: | 黄成萍 |
地址: | 211189 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种尖锥阴极与锥形栅孔对应的冷阴极三极管,包括阴极、阳极和栅极,所述阴极包括阴极基板和制作在阴极基板上表面的场发射阴极,所述栅极设置在阴极和阳极之间,在栅极上设置有与场发射阴极对应的栅孔;所述阴极基板上表面对应栅孔的位置设置有椎体突起结构,所述场发射阴极至少覆盖住所述椎体突起结构的尖端部位,形成尖锥阴极。本发明提供的一种尖锥阴极与锥形栅孔对应的冷阴极三极管,与传统场发射阴极三极管技术相比,不仅具有发射均匀性好、阴极与栅极间电容小,发射电子束的运动轨迹的汇聚的趋势更明显等优点,还可以避免传统场发射阴极因边缘场过于集中带来的打火、阴极损伤等。 | ||
搜索关键词: | 一种 阴极 锥形 对应 三极管 | ||
【主权项】:
一种尖锥阴极与锥形栅孔对应的冷阴极三极管,包括阴极、阳极(7)和栅极(3),所述阴极包括阴极基板(1)和制作在阴极基板(1)上表面的场发射阴极(2),所述栅极(3)设置在阴极和阳极(7)之间,在栅极(3)上设置有与场发射阴极(2)对应的栅孔(6);其特征在于:所述阴极基板(1)上表面对应栅孔(6)的位置设置有椎体突起结构,所述场发射阴极(2)至少覆盖住所述椎体突起结构的尖端部位,形成尖锥阴极。
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