[发明专利]一种尖锥阴极与锥形栅孔对应的冷阴极三极管无效

专利信息
申请号: 201410212192.2 申请日: 2014-05-19
公开(公告)号: CN103996586A 公开(公告)日: 2014-08-20
发明(设计)人: 狄云松;于彩茹;张晓兵;王琦龙;雷威;崔云康 申请(专利权)人: 东南大学
主分类号: H01J1/304 分类号: H01J1/304
代理公司: 南京瑞弘专利商标事务所(普通合伙) 32249 代理人: 黄成萍
地址: 211189 江*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明公开了一种尖锥阴极与锥形栅孔对应的冷阴极三极管,包括阴极、阳极和栅极,所述阴极包括阴极基板和制作在阴极基板上表面的场发射阴极,所述栅极设置在阴极和阳极之间,在栅极上设置有与场发射阴极对应的栅孔;所述阴极基板上表面对应栅孔的位置设置有椎体突起结构,所述场发射阴极至少覆盖住所述椎体突起结构的尖端部位,形成尖锥阴极。本发明提供的一种尖锥阴极与锥形栅孔对应的冷阴极三极管,与传统场发射阴极三极管技术相比,不仅具有发射均匀性好、阴极与栅极间电容小,发射电子束的运动轨迹的汇聚的趋势更明显等优点,还可以避免传统场发射阴极因边缘场过于集中带来的打火、阴极损伤等。
搜索关键词: 一种 阴极 锥形 对应 三极管
【主权项】:
一种尖锥阴极与锥形栅孔对应的冷阴极三极管,包括阴极、阳极(7)和栅极(3),所述阴极包括阴极基板(1)和制作在阴极基板(1)上表面的场发射阴极(2),所述栅极(3)设置在阴极和阳极(7)之间,在栅极(3)上设置有与场发射阴极(2)对应的栅孔(6);其特征在于:所述阴极基板(1)上表面对应栅孔(6)的位置设置有椎体突起结构,所述场发射阴极(2)至少覆盖住所述椎体突起结构的尖端部位,形成尖锥阴极。
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