[发明专利]一种基板干燥装置及基板干燥方法有效
| 申请号： | 201410219334.8 | 申请日： | 2014-05-22 |
| 公开（公告）号： | CN103994637A | 公开（公告）日： | 2014-08-20 |
| 发明（设计）人： | 张小祥;郭总杰;刘正;王守坤;刘明悬 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;北京京东方显示技术有限公司 |
| 主分类号： | F26B5/00 | 分类号： | F26B5/00;F26B21/14 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 李迪 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基板干燥装置及基板干燥方法，其中基板干燥装置包括腔体以及设置在腔体顶部的干燥棒和感应器，腔体中装有浸没基板的液体；干燥棒对离开液体的基板进行干燥，包括平行设置的第一干燥棒和第二干燥棒，第一干燥棒和第二干燥棒之间具有缝隙，缝隙的一端或两端设置有感应器，用于对基板离开液体的位置进行监测。通过使用上述装置，通过干燥棒向离开液体的基板表面喷出气体，利用马拉高尼效应改变液膜表面张力形成的表面张力梯度使液膜收缩，对基板表面进行干燥，不会造成基板表面缺陷，提高基板良率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 干燥 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种基板干燥装置，其特征在于，包括腔体以及设置在腔体顶部的干燥棒和感应器，腔体中装有浸没基板的液体；干燥棒对离开液体的基板进行干燥，包括平行设置的第一干燥棒和第二干燥棒，第一干燥棒和第二干燥棒之间具有缝隙，缝隙的一端或两端设置有感应器，用于对基板离开液体的位置进行监测。
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