[发明专利]链式条件下的双频等离子发生器

摘要

本发明涉及太阳能的技术领域，尤其涉及一种链式条件下的双频等离子发生器。工艺腔内设有第一电极板和第二电极板，工艺腔两端设有导电载板入出的开口，第一电极板置于导电载板上方，第二电极板置于导电载板下方，第一电极板连接高频射频电源，第二电极板连接低频射频电源，第二电极板与导电载板通过至少一个导电滚轮或导电刷连接。这种链式条件下的双频等离子发生器的结构简单，低频电源通过导电轮传到导电载板上，从而使基板上的偏压强度可调，设置缓冲区，可以形成连续不间断生产的链式条件，提高了生产效率。

主权项

一种链式条件下的双频等离子发生器，包括装载台（101）、装载腔（103）、工艺腔（107）、卸载腔（110）、卸载台（112）和下传输系统（113），所述装载腔（103）的一边设有第一门阀（102），装载腔（103）另一边设有第二门阀（104），卸载腔（110）的一边设有第三门阀（109），卸载腔（110）的另一边设有第四门阀（111），其特征在于：所述工艺腔（107）前端设有缓冲腔一（105），卸载腔（110）的前端设有缓冲腔二（108），所述工艺腔（107）内设有第一电极板（204）和第二电极板（205），工艺腔（107）两端设有导电载板（201）入出的开口，所述第一电极板（204）置于导电载板（201）上方，所述第二电极板（205）置于导电载板（201）下方，所述第一电极板（204）连接高频射频电源（203），所述第二电极板（205）连接低频射频电源（206），所述第二电极板（205）与导电载板（201）通过至少一个导电滚轮或导电刷（202）连接。