[发明专利]湿法刻蚀设备和湿法刻蚀方法

摘要

本发明涉及显示器制备技术领域，公开了一种湿法刻蚀设备和湿法刻蚀方法，其中湿法刻蚀设备包括：刻蚀液存储槽、与刻蚀液存储槽连通的多个喷淋管，刻蚀液存储槽内设有第一电极和第二电极，其中：第一电极和第二电极的极性相反，第一电极和第二电极用于湿法刻蚀设备在对金属刻蚀物刻蚀过程中形成施加于刻蚀液的直流电场。上述湿法刻蚀设备，通过在刻蚀液存储槽内设置极性相反的第一电极和第二电极以形成直流电场，使得带电的小尺寸颗粒在电场的作用下，产生电泳现象，避免小尺寸颗粒为降低表面自由能而发生的团聚现象，减少污染，降低更换刻蚀液的频率，提高产品的质量。

主权项

一种湿法刻蚀设备，包括：刻蚀液存储槽、与所述刻蚀液存储槽连通的多个喷淋管，其特征在于，所述刻蚀液存储槽内设有第一电极和第二电极，其中：所述第一电极和所述第二电极的极性相反，所述第一电极和第二电极用于湿法刻蚀设备在对金属刻蚀物刻蚀过程中形成施加于所述刻蚀液的直流电场。