[发明专利]清洗多晶硅反应釜的高压旋转喷杆装置

摘要

本发明属于清洗设备技术领域，涉及一种清洗多晶硅反应釜的高压旋转喷杆装置。它包括电机驱动机构，所述的电机驱动机构的输出端连接涡轮组件，所述的涡轮组件啮合蜗杆组件，所述的蜗杆组件包括中空的蜗杆，蜗杆的一端密封连接具有进水口的旋转轴组件，另一端可拆卸的连接喷杆，所述的喷杆的端部密封且喷杆的侧壁设有若干喷嘴。本发明结构简单，能进行360°旋转清洗，清洗效率高、速度快。

主权项

一种清洗多晶硅反应釜的高压旋转喷杆装置，包括电机驱动机构(1)，所述的电机驱动机构(1)的输出端连接涡轮组件(2)，所述的涡轮组件(2)啮合蜗杆组件(3)，其特征在于，所述的蜗杆组件(3)包括中空的蜗杆(31)，蜗杆(31)的一端密封连接具有进水口(41)的旋转轴组件(4)，另一端可拆卸的连接喷杆(5)，所述的喷杆(5)的端部密封且喷杆(5)的侧壁设有若干喷嘴(51)。