[发明专利]终点检测系统及其运行状态监测方法

摘要

本发明公开了一种终点检测系统及其运行状态监测方法，其中方法包括如下步骤：读取参照样本中的第一工艺信号曲线，并实时监测设置有终点检测系统的工艺机台进行工艺时的第二工艺信号曲线；比对第一工艺信号曲线和第二工艺信号曲线，判断终点检测系统运行状态；当终点检测系统运行状态正常时，控制工艺机台继续进行工艺；当终点检测系统运行状态异常时，控制工艺机台停止当前工艺。其通过实时监测到的第二工艺信号曲线与参照样本的第一工艺信号曲线进行对比，判断终点检测系统运行状态，有效解决了现有终点检测系统工作状态判断方法不能实时体现当前终点检测系统运行状态，导致对工艺机台状态的判断滞后或错误的问题，降低晶片工艺风险及废弃成本。

主权项

1.一种终点检测系统运行状态监测方法，其特征在于，包括如下步骤：读取参照样本中的第一工艺信号曲线，并实时监测设置有终点检测系统的工艺机台进行工艺时的第二工艺信号曲线；比对所述第一工艺信号曲线和所述第二工艺信号曲线，判断所述终点检测系统运行状态，包括：提取所述第一工艺信号曲线的第一信号最大强度值和/或第一背底信号平均值或第一信号振动幅度平均值，提取所述第二工艺信号曲线的第二信号最大强度值和/或第二背底信号平均值或第二信号振动幅度平均值，比较所述第一工艺信号曲线的第一信号最大强度值和/或第一背底信号平均值或第一信号振动幅度平均值和对应的所述第二工艺信号曲线的第二信号最大强度值和/或第二背底信号平均值或第二信号振动幅度平均值，判断所述终点检测系统运行状态；当所述终点检测系统运行状态正常时，控制所述工艺机台继续进行所述工艺；当所述终点检测系统运行状态异常时，控制所述工艺机台停止当前所述工艺；其中：所述第一信号最大强度值为第一工艺信号曲线中，表征工艺机台进行工艺启辉时的信号最大强度值；所述第二信号最大强度值为第二工艺信号曲线中，表征工艺机台进行工艺启辉时的信号最大强度值；所述第一背底信号平均值为第一工艺信号曲线中，表征工艺机台进行工艺灭辉时的背底信号平均值；所述第二背底信号平均值为第二工艺信号曲线中，表征工艺机台进行工艺灭辉时的背底信号平均值；所述第一信号振动幅度平均值为第一工艺信号曲线中，表征工艺机台进行工艺灭辉时的信号振动幅度平均值；所述第二信号振动幅度平均值为第二工艺信号曲线中，表征工艺机台进行工艺灭辉时的信号振动幅度平均值。