[发明专利]一种MEMS压力传感器的加盖方法及其装置在审
| 申请号： | 201410240484.7 | 申请日： | 2014-05-30 |
| 公开（公告）号： | CN105197873A | 公开（公告）日： | 2015-12-30 |
| 发明（设计）人： | 王从亮;韩林森;龚平 | 申请（专利权）人： | 无锡华润安盛科技有限公司 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00;B81B7/00 |
| 代理公司： | 无锡互维知识产权代理有限公司 32236 | 代理人： | 庞聪雅 |
| 地址： | 214028 江苏省无锡*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种MEMS压力传感器的加盖方法及其装置，其方法包括：用点胶装置将MEMS压力传感器的凹槽边缘涂上胶水；以及，利用吸附装置吸取盖子放置在所述MEMS压力传感器的凹槽内，完成加盖。本发明与现有技术相比，实现了半自动化生产，减少了人工干预，提升了产品质量的稳定性，提升了产能。加盖作业时，作业员远离胶水等化学产品，对作业员的EHS(环境Environment、健康Health、安全Safety)有保护。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 mems 压力传感器 加盖 方法 及其 装置 | ||
【主权项】：
一种MEMS压力传感器的加盖方法，其特征在于：包括，用点胶装置将MEMS压力传感器的凹槽边缘涂上胶水；以及，利用吸附装置吸取盖子放置在所述MEMS压力传感器的凹槽内，完成加盖。
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