[发明专利]检查装置、检查装置的校正方法及检查方法

摘要

本发明提供一种检查装置、检查装置的校正方法及检查方法。在传感器面板等检查对象物的检查装置中，可以实现消除因线缆的寄生电容等造成的误差的校正，并且可以以良好的精度测量传感器面板的微小的静电电容。在卸除了传感器面板的状态下，传感器面板检查装置(1)的校正部(46)对多个第二线缆(37)中的至少任一个供给信号部(11)的交流信号，并且调整在校正信号部(42)中与上述电流计对应的交流电源的电压及相位，以便使与第一线缆(36)电连接的电流检测部(41)的电流计的输出为零。若电流计的输出为零，则存储当时的上述交流电源的电压及相位。在检查传感器面板时，基于所存储的电压及相位，来使校正信号部(42)的交流电源产生交流信号。

主权项

1.一种检查对象物的检查装置，上述检查对象物呈面板状，并且被配置成并排的多个第一导电体和并排的多个第二导电体在从面板厚度方向观察时彼此交叉，其特征在于，具备：多个第一布线体，在检查时与上述第一导电体的每一个电连接；多个第二布线体，在检查时与上述第二导电体的每一个电连接；信号部，作为供给交流信号的交流电源；信号供给切换部，能够针对经由上述第二布线体向多个上述第二导电体的每一个供给上述信号部的交流信号或切断供给进行切换；电流检测部，具有能够检测流过上述第一导电体的电流的多个电流计；检测切换部，能够针对经由上述第一布线体将上述第一导电体的每一个与上述电流计连接或切断连接进行切换；以及校正信号部，具有能够向各个上述电流计供给交流信号的多个交流电源，上述检查装置构成为上述校正信号部的各个上述交流电源的电压及相位能够改变。